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多晶硅片清洗高濃度臭氧水機

更新時間:2023-05-26

簡要描述:

多晶硅清洗高濃度臭氧水機,臭氧水一體機

技術參數

型號

MTS-CYS-1T

MTS-CYS-2T

MTS-CYS-4T

MTS-CYS-6T

MTS-CYS-10T

臭氧水濃度(mg/L)

3-20

3-20

3-20

3-20

3-20

額定輸出水量(m3/h

1

2 4

6

10

臭氧水濃度(mg/L)

20-50

20-50

20-50

20-50

20-50

工作電壓(V

220 

220 

380 

220 

220

 電源頻率(Hz

50 

50 

50 

50 

50 

最大功率(KW

1.2

1.5

2.6

3.6

4.5

環境相對濕度 (%)

 ≤80 

 ≤80 

 ≤80 

 ≤80 

 ≤80 

環境溫度 (℃)

5-40 

5-40 

5-40 

5-40 

5-40 

環境氣壓 (KPa)

86-106 

86-106 

86-106 

86-106 

86-106 

額定輸出水壓(MPa

0.3 

0.3 

0.4 

0.4 

0.4

進水壓力 (MPa)

0.15 

0.15 

0.15 

0.15 

0.15 

機器凈重 (Kg)

100

120 

150 

200 

 260

一、產品特點:

1臭氧水濃度高達50PPM(mg/L)

2.采用多年研發高濃度板式臭氧放電系統,臭氧出口濃度高達300mg/L;

3、產品內部采用獨創微納米高效臭氧混合系統,直接與水混合出高濃度臭氧水

4、高效混合泵使臭氧利用率高達80% 以上;

5、全自動智能控制,按鍵即可控制機器工作,產生高濃度臭氧水,快捷安全      

6、管路采用衛生級不銹鋼管件,耐壓力、耐腐蝕

7、不銹鋼外殼, 易擦洗, 衛生防腐。 耐臭氧。

8、體積小,噪音低,產量穩定。

 

二:多晶硅片清洗試驗數據:

1686363214047.png

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

通過本方法將臭氧水應用于太陽能電池用硅晶片的制作工藝中,清潔工藝中去除了94%以上的無機物(微入口者),殘留有機物進一步去除了45%,從而確認了臭氧清潔工藝的適用性。但是,雖然對產品質量沒有太大影響,但由于外觀原因影響產品價格的硬脂酸污染的去除實驗中,長期擱置的部分多晶硅晶片也沒有被去除,但研究結果表明,在硅錠的硅片工藝中立即應用臭氧水清洗工藝,可以更有效地去除硬脂酸污染。

 

 

三、高濃度臭氧水體機設備原理 

采用先進的物理制氧原理,通過制氧塔的變壓吸附作用,在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離,取得高純度的氧氣;然后采用電暈放電法獲取臭氧,在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產生電暈放電生成臭氧;通過氣液混合系統進行水和臭氧的混合后,得到一定濃度的臭氧水.

 

 

四、內置核心部件介紹

(一)內置制氧機

內置臭氧專用制氧機采用納米分子篩技術,利用空氣作為原料,通過分子塔生成高濃度氧氣.氧氣濃度在 93%以上。 采用了適合臭氧環境的耐腐蝕材料。增加了多級除濕裝置,適合臭氧高濕環境。設備發熱件和壓縮空氣經過深度冷卻,設備溫升低,適合連續穩定運行。整個設備耐 腐蝕,耐潮濕,溫升低,可連續 24小時穩定運行。

內置制氧機特點

① .耐腐蝕,適合臭氧環境。 和普通制氧機、醫用制氧機相比,采用了很多耐臭氧腐蝕材料,能在臭氧環境下長期使用。

② .耐潮濕,適合潮濕環境。 和普通制氧機相比,采用了三級除濕措施。包括第一級深冷自動排水,第二級除濕分子篩,第三級制氧分子篩除濕。前兩級除濕保護了制氧分子篩,延長了制氧分子篩壽命,適合水處理環境潮濕場合。

③ .溫升低,適合連續穩定運行。 采用了空氣深冷技術和深度散熱技術,設備溫升和傳統制氧機相比,由傳統制氧機的環境溫升 15-20℃大幅降低到3-5℃。

④ .內置無油壓縮機,免維護。 制氧機內部采用了免維護的無油壓縮機。不需要經常維護。

⑤ .以空氣為原料,制氧成本低。 制氧機以空氣為原料,物理方法制氧,日常沒有消耗材料。制氧成本基本上就是電費和定期維護費,和氧氣瓶相比,氧氣成本非常低。

⑥ . 氧氣濃度高,沒有雜質和水氣: 氧氣濃度可達 93%以上。制氧機內置過濾材料,可過濾空氣中的雜質和水氣。

 

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