風淋室應(yīng)用微電子實驗室,風淋室應(yīng)用與復旦大學微電子學院實驗室
在微電子學院領(lǐng)導的支持下，微電子學院的周鵬副教授、工藝實驗室的徐賽生工程師作了充分的前期準備，特地為同學們準備了防護服和手套口罩等裝備。2013級班導師的陳赟老師和騰飛計科5班的輔導員曹佩奇全程帶領(lǐng)參觀。
24日下午一點半，同學們來到位于復旦大學邯鄲校區(qū)本部的微電子樓，在陳赟老師的帶領(lǐng)下，進入微電子實驗室的參觀。進入實驗室前，本科一年級的同學第一次戴上帽子和口罩，穿上防護服，戴上手套，套上鞋套，穿過風淋室，進入了千級的實驗室參觀，還在環(huán)境掃描電子顯微鏡下看到了碳納米管的樣子。第一次穿上防塵服的同學們感到非常的新奇有趣，立刻激發(fā)起對于微電子學科的好奇心，大家表現(xiàn)出了高漲的熱情，迫不及待要親自操作實驗儀器。
隨后，同學們分兩批進入實驗室，實驗室的負責老師為大家介紹了實驗室的基本情況，實驗室擁有主體千級、部分區(qū)域百級、總潔凈面積達到約800平米的潔凈室，放置了先進的集束系統(tǒng)（集成了PVD/ALD/RTP/XPS等）、銅互連先進擴散阻擋層淀積和分析系統(tǒng)、納米管和石墨烯淀積設(shè)備、反應(yīng)離子刻蝕、微波退火系統(tǒng)等關(guān)鍵設(shè)備，成為了02國家重大專項“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導研究與平臺建設(shè)”項目中“互連子平臺”建設(shè)的重要組成部分。同時潔凈室還放置了高端電子束曝光設(shè)備JEOL 6300 FS和ICP刻蝕等關(guān)鍵設(shè)備。近年來實驗室負責承擔和完成了包括國家“02重大專項”、“863”計劃及國家自然科學基金等項目在內(nèi)的各類項目共計近50項。目前為止，實驗室已出版中英文專著6部，并在國際頂級專業(yè)期刊上發(fā)表論文近300余篇，申請專利150多項。此外，實驗室積極開展國內(nèi)外學術(shù)交流與合作，并與國內(nèi)多家集成電路制造公司的領(lǐng)頭企業(yè)，如中芯國際、華虹NEC等，建立了長期深入的合作關(guān)系。實驗室非常歡迎優(yōu)秀的本科生進入實驗室先期了解科學研究的最新動態(tài)。
同學們也第一次近距離地接觸實驗儀器設(shè)備，直觀地了解實驗過程。當時正有研究生進行實驗，同學們有幸直接觀看電子束曝光的現(xiàn)場。老師們還非常熱心地指著實驗室的通氣管道考考大家對半導體工藝認識多少，同學們也積極向老師提問。參觀結(jié)束后，陳赟老師還為大家準備了精美的集成電路介紹短片，讓大家對于集成電路工藝和設(shè)計以及相關(guān)產(chǎn)業(yè)有了更加全面和深入的了解。
15點45分，我們的參觀活動告一段落，同學們在活動中都表現(xiàn)出了極大的熱情和濃厚的興趣，也增強了學生們對微電子學科的興趣，為大家提供了走進實驗室感受科研氛圍的機會，也為同學們?nèi)蘸蟠_定個人的發(fā)展方向提供了信息和導向。
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