風淋室：FPC行業IPQC檢測規范
檢驗項目
干膜：A、查核車間有未定期做潔凈度的測試，粘塵墊有未更換，人員在進入車間時必須在風淋室內吹淋。
B、核對所用干膜是否與現場SOP文件相一致.
C、核對壓膜參數：包括壓力、速度、溫度是否與《條件設定表》相一致.
D、檢驗干膜附著力是否會從基材上面直接剝落，有無氣泡、雜質等不良現象，靜止時間是否
符合文件要求.
E、采用濕壓貼膜時，需確認純凈水內有無臟物，水位是否保持在2/3框子之高度，并確認壓
膜后材料割邊清潔狀況.
曝光：A、檢查機種版本與菲林版本與工單、圖紙是否一致.
B、確認菲林挖空時有未挖到成型區，有無膠帶貼反等現象.
C、確認菲林有未進行編號，以便后續追溯.
D、確認菲林四周有未設計黑邊.
E、確認作業員在對位時有未按方向孔對位，撕菲林時是否斜角撕.
F、每2H查核一次曝光等級與抽真空值是否與SOP文件之要求并檢查干膜車間溫濕度是否在要求范圍內.
G、檢驗曝光時是否有曝光過度，曝光偏移，吸真空不良等不良現象.
H、檢查曝光機臺面之清潔情況并確認Mrlar膜是否依規定定期更換.
蝕刻：A 核對版本，所有參數是否與《條件設定表》相一致。如：壓力，溫度，速度等.
B 顯影前Mylar是否撕盡，化驗的藥液濃度是否與《條件設定表》要求相一致.
C 檢驗是否有顯影不凈，蝕刻不凈，開路，短路，破孔，線寬線距是否符合要求等.
貼合：A 檢驗面向確認是否有貼反現象.
B 檢驗在貼合過程中是否有偏位，板面是否有氧化，異物等不良現象.
C 機種編號、覆蓋膜開窗是否與圖紙相符
D 覆蓋膜是否除塵及除塵手勢確認
E 風淋室是否開啟，設定吹風時間：10S
F 粘腳墊更換記錄及頻率
G 撕覆蓋膜手勢確認
H 熨斗溫度點檢狀況確認（一周一次）
I 溫、濕度管控記錄確認
J 車間人員手指套配戴狀況確認
K 查核貼合車間的保養狀況及5S
資料整理：青島美特斯凈化設備有限公司 趙德平
0532-82275046
